Mikrosystemtechnik

Ingenieurwissenschaften und Informatik

Version 9.0 vom 12.10.2020

11M1190

Micro-Electro-Mechanical Systems

• Mechatronic Systems Engineering (M.Sc.)
• Informatik - Verteilte und Mobile Anwendungen (M.Sc.)
• Elektrotechnik (Master) (M.Sc.)

5

Mikrosysteme werden heutzutage vielfältig in der Technik eingesetzt. So finden sie sich als intelligente Beschleunigungssensoren in Smartphones und Autos, sie bilden die Kernelemente von Digitalkameras, sie ermöglichen kompakte Tintenstrahldruckköpfe u.s.w..

1. Halbleitertechnologie:Dünnschichttechnik, Lithographie, Ätztechnik, Dotierung, Prozeßintegration, Prozesskontrolle
2. Spezialtechnologien der Mikrosystemtechnik: LIGA-Verfahren, Mikromechanik, Aufbau- und Verbindungstechniken
3. Systemintegration:Definition Mikrosystem, Entwurfsmethoden, Simulation, Test, Charakterisierung, Zuverlässigkeit
4. Beispiele und Anwendung von Mikrosystemen

Wissensverbreiterung

Wissensvertiefung
Die Studierenden, die dieses Modul erfolgreich studiert haben, verfügen über ein detailliertes Wissen über Herstellungstechniken, Anwendung und Zuverlässigkeitsaspekte von mikrosystemtechnischen Komponenten. Sie können damit die Einsatzmöglichkeit von Mikrosystemen für gegebene Anwendungssituationen kritisch beurteilen.
Können - instrumentale Kompetenz

Können - kommunikative Kompetenz
Nach erfolgreichem Abschluss dieses Moduls können die Studierenden den Einsatz von Mikrosystemtechnik Bauelementen kritische betrachten und ihre Arbeitsergebnisse hierzu in geeigneter Form darstellen.
Können - systemische Kompetenz

Vorlesung, Einarbeitung in ein individuell ausgewältes Thema mittels Literaturrecherche, praktischer Versuche und/oder theoretischer Durchdringung

Grundkenntnisse der Elektrotechnik, Physik und Informatik

Emeis, Norbert

• Emeis, Norbert
• Ruckelshausen, Arno

5

“Mikrosystemtechnik - Konzepte und Anwendungen“; Ulrich Mescheder, Springer Vieweg 2004“Einführung in die Mikrosystemtechnik“; G.Gerlach, W.Dötzel, Hanser-Verlag 2006“Prozeßtechnologie“; G.Schumicki, P.Seegebrecht, Springer-Verlag, 1991“Grundlagen der CMOS-Technologie“; T.Giebel, . Teubner 2002“Mikrosystemtechnik - Vom Transistor zum Biochip“; S.Büttgenbach,. Springer 2016

Präsentation

1 Semester

Nur Wintersemester

Deutsch