Micro-Electro-Mechanical Systems
- Faculty
Faculty of Engineering and Computer Science
- Version
Version 9.0 of 10/12/2020
- Code of Module
11M1190
- Modulename (german)
Mikrosystemtechnik
- Study Programmes
- Mechatronic Systems Engineering (M.Sc.)
- Informatik - Verteilte und Mobile Anwendungen (M.Sc.)
- Elektrotechnik (Master) (M.Sc.)
- Level of Module
5
- Responsible of the Module
Emeis, Norbert
- Lecturer(s)
- Emeis, Norbert
- Ruckelshausen, Arno
- Credits
5
- Concept of Study and Teaching
Workload Dozentengebunden Std. Workload Lehrtyp 45 Vorlesungen Workload Dozentenungebunden Std. Workload Lehrtyp 30 Veranstaltungsvor-/-nachbereitung 20 Literaturstudium 35 Hausarbeiten 18 Prüfungsvorbereitung 2 Referate
- Recommended Reading
“Mikrosystemtechnik - Konzepte und Anwendungen“; Ulrich Mescheder, Springer Vieweg 2004“Einführung in die Mikrosystemtechnik“; G.Gerlach, W.Dötzel, Hanser-Verlag 2006“Prozeßtechnologie“; G.Schumicki, P.Seegebrecht, Springer-Verlag, 1991“Grundlagen der CMOS-Technologie“; T.Giebel, . Teubner 2002“Mikrosystemtechnik - Vom Transistor zum Biochip“; S.Büttgenbach,. Springer 2016
- Graded Exam
Presentation
- Duration
1 Term
- Module Frequency
Only Winter Term
- Language of Instruction
German